・分解能:11,840,000分割/回転(0.01arc-sec/pulse)のダイレクトドライブ・モータ。
高精度
・絶対位置決め精度:10arc sec
・繰り返し位置決め精度:±0.5arc sec
停止安定性
・サーボロック時の停止安定性:±2パルス(±0.22arc sec)以内
大きい中空径
・モータ外径:φ130mm
・中空穴径:φ50mm
機械的精度
・出力側面振れ:2μm
共通仕様
分解能 | 11840000分割/回転(0.11arc-sec/pulse) |
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繰り返し位置決め精度 | ±0.5arc sec |
機械的精度 | 出力側面振れ:2μm |