FPR-ND-71-6.35
-
![]()
FPR-ND-71-6.35
NEW MEGA-ONE LA は、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。
■特徴
・アクチュエータ部の簡略化により、コンパクト化をはかりました。
・優れた耐久性400万回以上（φ6.35）
・ノーマルオープン、ノーマルクローズの区別ができるようキャップ上部で、簡単に識別できます。
・良好な置換特性（UJR 6.35 MALE TYPEで全内容積 1.48 cc）
・高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム
・接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。
オプションでUP処理も可能です。
・シート材質は、標準でPCTFEを採用していますがPI・PAもオプション設定しています。
共通仕様
| 最高使用圧力 | 1MPa |
|---|---|
| 使用流体温度範囲 | -10～+80℃ |
| Cv値 | 呼び径6.35=0.3 呼び径9.52・12.7=0.65 |
| 作動圧力 | 0.4～0.6MPa |
| 操作圧接続ポート | M5×0.8 |
| 接続継手 | UJR､UPG＠F900自動溶接継手 |
| ボディ材質 | SUS316L |
| ダイヤフラム（接ガス部）材質 | ニッケルーコバルト合金 |
| シート材質 | PCTFE(標準） |
| アクチュエータキャップ材質 | アルミ合金(アルマイト処理) |
