FUND-71G-6.35
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FUND-71G-6.35
NEW MEGA-ONE LSは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの90度開閉ダイヤフラムバルブです。 スプリングの力により安定したシール性能が維持できます。
ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。
・オプションでハンドル色の変更も可能です。
・接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。
・シート材質は、標準でPCTFEを採用していますがPI・PAもオプション設定しています。
共通仕様
| 最高使用圧力 | 1MPa |
|---|---|
| 使用流体温度範囲 | -10～+80℃ |
| Cv値 | 呼び径6.35=0.3 呼び径9.52･12.7＝0.65 |
| ボディ材質 | SUS316L |
| ダイヤフラム（接ガス部）材質 | ニッケル-コバルト合金 |
| シートパッキン材質 | PCTFE（標準） |
| ハンドル材質 | ADC12 |
