UPCシリーズ
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UPCシリーズ
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FCSP8000シリーズ
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FCSP7000シリーズ
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FCSP7000Wシリーズ
・半導体プロセスにおいて、重要視されているエッチレートや成膜レートの、安定性・再現性の確立を念頭に開発されました。
・従来のマスフローコントローラとは、その基本動作原理から異なり、圧力を制御することによりMFCでは実現できない、高精度な流量制御を可能にします。
・ガス供給系での、圧力変動(ハンチング)やクロストークなど、プロセスの不安定要素を克服し、限りなく安定した流量制御をお客様に提供致します。
■オートプレッシャーコントローラ(自動圧力制御器) UPCシリーズ
・動作原理内蔵した圧力センサーで圧力を一定に保ちます。
・電気信号で任意の圧力が設定可能です。
・1つのラインにマスフロが複数接続されている場合、ガス流量の急激な変動が他のマスフロに影響を与えないように圧力調整を行います。
・ウエハ裏面冷却用の制御器として対応可能。
・下流圧力制御用。
■フローコントロールシステム FCSP8000・FCSP7000/Wシリーズ
・供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けません。
・応答時間が0.5秒以下と早い。
・取り付け姿勢の影響を受けません。
・流量自己診断機能の搭載。
・ガス種を選びません。フローファクター(流量変換係数)の採用により、N2校正のFCSで様々なガス種に対応できます。
・RoHS対応。