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SA-M
・アライメントステージモジュール形SA-Mは、角度調整機構をもったアライメントモジュールAMを同一平面上に配置した大形の精密位置決めテーブルです。
・XY方向の直線運動と、角度補正を行うことができ、特に角度補正は任意位置を回転中心に設定できるため、動作の自由度が高く、多彩な動作を実現しています。ステージとベースには大口径の中抜き構造が採用されているため、半導体・液晶関連製造装置及び検査装置などのアライメントステージに最適です。
・アライメントモジュールAMは精密位置決めテーブルTUと、高剛性形クロスローラベアリング、リニアウェイEを組み合わせて、アライメントステージ用に開発された位置決めモジュールです。
・高さ寸法の許容差を±10μmと高精度に管理しているので、各アライメントモジュールの高さ調整をすることなくアライメントステージを構成できます。
特長
・多彩な動作を実現
・大形装置に最適
・高精度・高剛性・高信頼性
・中抜き構造