モノづくりの困ったを解決する総合サイト

Produced by

日本トムソン

アライメントモジュール AM

AM

  • AM

  • SA-M

・アライメントステージモジュール形SA-Mは、角度調整機構をもったアライメントモジュールAMを同一平面上に配置した大形の精密位置決めテーブルです。
・XY方向の直線運動と、角度補正を行うことができ、特に角度補正は任意位置を回転中心に設定できるため、動作の自由度が高く、多彩な動作を実現しています。ステージとベースには大口径の中抜き構造が採用されているため、半導体・液晶関連製造装置及び検査装置などのアライメントステージに最適です。
・アライメントモジュールAMは精密位置決めテーブルTUと、高剛性形クロスローラベアリング、リニアウェイEを組み合わせて、アライメントステージ用に開発された位置決めモジュールです。
・高さ寸法の許容差を±10μmと高精度に管理しているので、各アライメントモジュールの高さ調整をすることなくアライメントステージを構成できます。

特長
・多彩な動作を実現
・大形装置に最適
・高精度・高剛性・高信頼性
・中抜き構造

#ロータリテーブル

CADメーカーTOP

この製品を見た人はこのような製品も見ています

1952年設立で、動力伝導機器・産業機器・制御機器等の機械設備及び機械器具関連製品の販売をしている専門総合商社です。
日本国内で40以上の拠点を持ち、信頼性の高い製品と技術力で、全国のものづくりに携わる方々のあらゆるお困りごとを解決しています。

Loading...