クリーン・真空・耐熱カップリング
・オルダムタイプのフレキシブルカップリングです。
・クリーン洗浄・クリーン梱包済み。FPD製造装置など、耐熱・耐薬品性が必要な環境やクリーンルームで使用できます。
・スペーサにべスペルSP5000を採用。
・耐熱・耐薬品性にすぐれており、高温下でのアウトガスが極微量です。
・ハブとスペーサがスリップすることにより、偏心・偏角を許容します。
・ミスアライメントにより発生す軸荷重が小さく、軸への負担を軽減します。
・許容ミスアライメント大
・電気絶縁性
・耐熱
・耐薬品
・クリーン
共通仕様
材質 | べスペル |
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