小形・低寸法・ノズル
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小形・低寸法・ノズル
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小形・低寸法・ノズル
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小形・低寸法・ノズル
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小形・低寸法・ノズル
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薄形・フラット
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薄形・フラット
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ベロウ
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ベロウ
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長円形
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長円形
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長円形
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ボールスプラインバッファ
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ボールスプラインバッファ
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吸着跡対策
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吸着跡対策
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吸着跡対策
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吸着跡対策
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吸着跡対策
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スポンジ
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スポンジ
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高荷重
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高荷重
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高荷重
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高荷重
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高荷重
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特殊形状
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特殊形状
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特殊形状
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サクションアシストバルブ
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サクションアシストバルブ
パッド形状・サイズを拡大。より多様なワークに対応
【小形・低寸法・ノズル φ0.8~φ15】小形・省スペース
【薄形・フラット φ5~φ30】シート・ビニール等に対応
【ベロウ φ2~φ46】球形・傾斜のあるワークに対応
【長円形 3.5×7~8×30】長方形ワークに対応
【ボールスプラインバッファ φ2~φ8】バッファにボールスプラインガイドを使用
【吸着跡対策 φ4~φ125】吸着跡をきらうワークに対応
【スポンジ φ4~φ15】凹凸のあるワークに対応
【高荷重 φ32~φ340】重いワーク、大きなワークに対応
【特殊形状】円盤(CD、DVD等)、ガラス基板等のステージ固定に対応
【サクションアシストバルブ】ワークがなくても真空圧力の低下を抑制