・マスフローコントローラMQV□□□□は、検出部にアズビル独自開発の熱式流速センサである「μF(マイクロフロー)センサ」を使用し、比例ソレノイドバルブと高度なアクチュエータ技術を融合した高性能デジタルマスフローコントローラです。
・高速・ワイドレンジ流量制御ニーズを先取りした一般産業市場向け次世代気体流量コントローラです。
共通仕様
| ガス種類 | 【MQV9005・MAV9020】 空気／窒素(N2),酸素(O2),アルゴン(Ar) 【MQV9200・MQV9500・MQV0002・MQV0005・MQV0020・MQV0050】 空気／窒素(N2),酸素(O2),アルゴン(Ar),炭酸ガス(CO2),都市ガス13A(LNGベース,45/46MJ/m3),メタン100％(CH4),プロパン100％(C3H8),ブタン100％(C4H10) 【MQV0100】 空気／窒素(N2),酸素(O2),アルゴン(Ar),炭酸ガス(CO2) |
|---|---|
| 応答性 | 【MQV9005・MAV9020】 設定±2％FS以内に0.5s(TYP.) 【MQV9200・MQV9500・MQV0002・MQV0005・MQV0020・MQV0050・MQV0100】 設定±2％FS以内に0.3s(TYP.) |
| 精度 | 【MQV9005・MAV9020】 ±1％FS 【MQV9200・MQV9500・MQV0002・MQV0005・MQV0020・MQV0050】 標準品：±0.5％FS(0％FS≦Q≦50％FS)、±1％FS(50％FS 【MQV0100】 ±1％FS(0％FS≦Q≦80％FS)、±2％FS(80％FS 標準温度、標準札にて（Q=流量） |
| 許容入口圧 | 0.5MPa(gauge) |
| 定格電圧 | DC24V,消費電流300mA Max |
