精密位置決めを実現する回転ステージの登場!
・高精度、高剛性でなめらかな位置決めを実現する回転ステージSK-Wが新たにラインナップ!
・SK-Wは、ウォームギア機構を採用した無限回転ステージです。IKOクロスローラーベアリングを回転案内部に採用し、直接テーブルとすることで高精度な回転振れ、高剛性、低断面を実現しています。
【高精度】
・回転案内部にIKOクロスローラベアリングを組込み、テーブル上部の擦れ量は5μm以下を実現しています。
【低断面、高剛性】
・回転案内部にあらゆる方向に対して高剛性を発揮するIKOクロスローラベアリングを採用。更にクロスローラベアリングを直接テーブルとすることで低断面を実現しています。
【設計工数削減】
・テーブルには、装置のテーブルや検査対象物等を取り付けることが可能です。機構部品を使用して一から回転テーブルの設計をする手間を削減できます。