平田機工－Hirata－半導体関連生産設備 ロードポート他

半導体関連生産設備事業分野では、シリコンウェーハを各種処理装置に取り込むロードポート、大気・真空環境に対応可能なウェーハ搬送ロボットおよびそれらを統合したEFEMなどを製造・販売しています。