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井口機工製作所

位置決めステージ ILS型(クリーンルーム用)

ILS-150(フリータイプ)

  • ILS-150(フリータイプ)

  • ILS-150S(ストッパータイプ)

  • LS-30S-40(ストッパータイプ)

  • ILS型

■各工程におけるバッファー部で、ガラス基板搬送用カセットを、シンプルに位置決めするステージユニットです。
・G7、G8 級に対応した大型タイプや、従来規模の製造ライン改善用に対応した小型タイプなど、世界的な採用が拡大しています。

■滑るように全方向に移動できるILS ステージユニットは、イグチベアーを採用した従来機に比べ、コンパクトにもかかわらず大荷重を受けることができ、非常にスムースな動きでカセットを位置決めできす。

■位置決め完了後、AGVによりカセット受け渡し後の無負荷状態には、可動部が常に原点に復帰し、次のカセットを待ちます。

■可動部をホールドさせることができるSタイプ(ストッパータイプ)もご用意しております。

#ボールトランスファー
#クリーンルーム

共通仕様

タイプ ILS:フリータイプ
ILS-S:ストッパータイプ

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