高い計測性能、使いやすさを実現した熱式微小液体流量計
【数mL/minの微小流量計測が可能】
MEMSセンシング技術を活用した熱式計測原理を採用し、従来は測定困難であった「数mL/min」の微小液体流量計測を可能としました。
（最小計測値：0.1mL/min、10mL/minレンジ）
【ストレート流路】
ストレート流路であるため圧力損失が小さく、また液溜まりが無く洗浄性に優れています。
【小型・軽量、取付け簡単】
・従来品よりも著しく小型・軽量になりました。
・付属の取付けブラケットを使用して上面（水平配管時）から平易に取付られています。
・垂直配管への取付けも可能です。
・別置き変換器（アンプ）も不要。
【設置場所、流体を選ばない】
・IP65保護構造に準拠しています。
・製品外面に一切の金属素材を使用していませんので、液体飛沫を受ける環境でも使用できる等、腐食性流体への体制が向上しました。
・接液部を石英ガラス（流路）・フッ素樹脂（継手）にて構成し、センサは接液しませんので、
多様な流体（石英ガラス・フッ素樹脂を腐食させない流体）に使用できます。
【流量補正係数(CCF)自動設定機能】
・流量補正係数自動設定機能を使用すれば、計測対象にあわせて流量計がゼロ点調整を流量補正係数を自動で設定することができます。
共通仕様
| 計測可能流体 | 流路を詰まらせない、ガラス管を傷つけない、接液部材料を侵さない流体。 流路内壁にエキタイ成分が付着した場合には計測誤差が生じます。また気体に気泡、脈動が含まれる場合には、それらの程度に応じた出力のふらつきやシフトが乗じることがあります。 |
|---|---|
| 精度保証対象流体 | H2O（水） |
| 繰り返し性 | ±1%RD（≧20%FS） ±0.2%FS（<20%FS） |
| 応答性 | 1.0s typ.（63.2%応答） |
| 温度特性 | ±0.5%RD/℃液体温度・周囲温度が共に10～35℃の範囲内、かつ両者が同一の条件にて、流体温度が23℃時の出力値と比較した時の値です。 |
| 使用流体圧力範囲 | 0to500kPa(gauge) |
| 取付け姿勢 | 水平取付、または垂直取付（流れ方向は下→上） 垂直取付の場合、水平取付時と比較して測定値に±1%RD程度の出力シフトが生じます。 |
| 動作条件 | ・使用流体温度：5～50℃ 使用周囲温度：5～50℃ ・周囲湿度：10～90％RH ・使用振動条件：振動なき事 ・使用衝撃条件：衝撃無き事 |
| 輸送保管条件 | ・周囲温度：5～60℃ ・周囲湿度：10～90%RH ・耐振動性：4.9m/s2 ・耐衝撃性：490m/s2（梱包状態にて） |
| 電源 | 定格：DC24V、許容電源電圧範囲：DC21.6～26.4V（リップル2.5%以下）、消費電力：0.7W以下 |
| アナログ出力 | ・出力信号：DC1～5V ・最大出力電圧：5.6V(115%)（計装可能流量範囲上限） ・外部負荷抵抗：250kΩ以上 ・出力更新周期：10ms ・出力分解能：0.01%以内 |
| デジタル出力 | ・出力点数：1点 ・機能種類：1)ヒステリシス設定機能付き流量上限、下限イベント 2)流量上限、下限イベント 3)積算パルス出力 4)以上発生時出力（機能割付けはPCローダにて設定可能） ・出力定格：DC30V、30mA以下（NPNオープンコレクタ非絶縁出力、電源オフ時：接点開） ・積算パルス：パルスウェイト：0.01、0.1、1、10mL/P（パルス幅：5ms typ、最大100Hz）（PCパワーローダにて設定変更可能） |
| デジタル入力 | ・入力点数：1「点、ゼロ点調整のみに使用可能 ・相手側経路形式：無電圧接点、またはオープンコレクタ |
| 保護構造 | IP65 |
| 重量 | 85g |
| 適合規格 | EN61326、EN61326-2-3 |
