真空用電磁弁 製品一覧

日本精器

方向制御弁｜遅延真空電磁弁 BN-7KVシリーズ

■遅延真空電磁弁とは
・油回転式真空ポンプが停止すると、ポンプ内の油が真空装置側へ逆流するオイルバックが発生します。
・これを防ぐには、ポンプが停止し、メインバルブが完全に閉止した後にポンプの吸気側を大気圧に戻す必要があります。
・遅延真空電磁弁は、メインバルブとポンプとの間に設置するだけで、通常のON-OFF時だけでなく、停電時も、真空装置側へのオイルバックを防ぐことができる遅延リークバルブです。
・真空ポンプが停止し、メインバルブが完全に閉止するまでの間、ポンプ吸気側の真空破壊を遅らせることができるので、真空ポンプや真空装置を保護することができます。

■超省電力
・定常時3W

■高真空に対応
・弁漏れ1.3×10^-9Pa・m³/s(He)以下
■コンパクト／大容量
・Cv値：0.45

■コイルの発熱無し

■環境にやさしい
・RoHS対応

SMC

大気開放弁付真空バルブ XLJシリーズ

・チャンバ内への粗引きポンプ（ロータリポンプ）の油の逆流防止
・大気開放弁一体構造による配管工数削減