神港精機 真空ポンプ 製品一覧
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神港精機
水封式真空ポンプ SWシリーズ
【水封式真空ポンプ SWシリーズの特長】
・水封式真空ポンプ は、水蒸気や水滴を含んだ気体の排気に最適です。
・2段式ポンプでは、3×10<sup>4</sup>Pa以下で高性能を発揮します。
・水封式真空ポンプ 、、引火性ガスや腐食性ガスの排気も可能です。
・低騒音でかつ振動の少ない設計です。
・回転により、吸・排気作業が連続的で、脈動が低減しています。
・ポンプ内部での摩擦部分がありませんので、部品の故障が減少しました。
【水封式真空ポンプ SWシリーズの構造・原理】
・水封式ポンプは、円形ケーシングと羽根車より本体を構成し、羽根車は ケーシングと偏心した位置に取付けられています。
・ケーシング内に適当量封水を入れて羽根車を回転させますと、質量の大きい封水は、遠心力によっ て、ケーシング内壁に沿って同心のリング状になります。
・羽根車が回転する事により、この封水リングの内壁と羽根車の羽根によって囲まれた空間の容積が、変 化する事を利用して、側壁または羽根車の内壁に設けられている吸・排気口を通して、吸入・圧縮・排気の作用を連続的に行います。
・高速回転により、能率の高 い排気を達成します。また、封水は吸気された気体が必ず排気されるようにシールの役目をしています。
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神港精機
油回転真空ポンプ SR・SRP型/SVC型
SR・SRPシリーズ(揺動ピストン形)
・SR型:もっともシンプルな構造の1段形真空ポンプです。
・SR-B型・SPR-B型:大排気量ながらコンパクトな真空ポンプです。抜群の堅牢性を持ちます。
SVCシリーズ(回転翼形)
・2段回転翼形で到達圧力が良く低振動です。
【油回転真空ポンプの特長】
・耐久力が大きく、寿命が長い。
・排気特性が優れ操作が簡単。
・水蒸気の処理ができる。
・ガスバラスト弁を取付ける事により、凝縮性蒸気が凝縮して油と混濁してポンプ性能が低下する事を防止し、凝縮性蒸気を排気処理する事が出来ます。
【油回転真空ポンプの作動原理】
・軸に固定されたロータが、回転する事により、ポンプのシリンダ内部に空間が生じます。
・その結果、吸気口よりシリンダ内部の空間に、気体が入ります。
・そして ロータが回転する事により、シリンダとピストン、シリンダとベーンとの空間にある気体は、圧縮される空間に移り、排気弁を通して、油タンク内部へと排出さ れます。
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神港精機
メカニカルブースタポンプ SMBシリーズ
【メカニカルブースタポンプの特長】
・排気特性が大変すぐれています。
・操作が簡単で保守も容易です。
・超寿命です。
・コンパクトで低振動です。
・クリーンな真空が得られます。
・安全な横形を採用しています。
【メカニカルブースタポンプの構造】
・平行した2本の軸に2個のバランスの取れたまゆ形ロータが固定され、電動機により駆動されます。
・ロータが回転することにより、吸入口から入った気体はケーシングとロータの空間に閉じ込められ、排気口より連続的に排出されてゆき、効率よく真空を作り出します。
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神港精機
ドライ真空ポンプ SSH型
ドライ真空ポンプ SSH型は、高性能DCBLモータを搭載した省エネポンプです。
【ドライ真空ポンプ SSH型の特長】
高効率DCブラシレスモータの採用
・DCブラシレスモータを回転数制御することによって始動電流を低減し、通常運転時にも「POWER MODE」と「ECONOMY MODE」選択できる仕様となっています。(運転中も切り替え可能)。また、50/60Hzの地域による能力差を解消し、ヘルツフリーを実現しました。
Economy&Ecology
・Economy 年間 約¥64,000の節電効果
・Ecology 年間 約1,400kgのCO2排出量を削減
(誘導モータ対比 年間 約9,000h運転した場合)
コントローラー内蔵
・様々な保護機能を有するポンプコントローラーを装備し、外部制御も可能としています。
【ドライ真空ポンプ SSH型の用途】
・半導体製造、電子部品製造(蒸着、スパッタリング、エッチング、後工程装置など)
・一般産業(吸着搬送、ガス置換、封止排気、滅菌など)
・研究開発(エバポレータ、環境試験機など)
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神港精機
ドライ真空ポンプ SST型
・独自開発のスクリューローターとメンテナンス性を追求した機械構成、選択可能なアクセサリーにより、ドライポンプでは不向きとされていた凝固性ガス、粉体、生成物の吸引を含むハードプロセスにおいても安定した性能とメンテナンスサイクルの長期化を実現したドライ真空ポンプです。
【ドライ真空ポンプ SST/SSXシリーズの特長】
ZEROEDGEスクリュー
・独自開発のスクリュー形状で高排出性・高耐久性を実現しました。
・凝固性ガス、粉体、生成物の吸引を含むハードプロセスにおいても安定した運転が可能です。
メンテナンス性の追求
・設置場所にて、容易に洗浄作業や分解作業がおこなえ、ユーザー様の目線で細部にこだわる画期的な方法を確立しました。
豊富なオプション
・クリーニング吸気管セット、メンテナンス架台セット、ヒーターセットなど多彩なアクセサリーで最適な仕様を提供します。
・屋外型、耐圧防爆型、高効率型など各種モータの搭載が可能です。
【ドライ真空ポンプ SST/SSXシリーズの用途】
・工業炉(焼結・脱脂・浸炭・一般熱処理)
・樹脂成形(押出機・成形機)
・化学品・食品・医薬品製造プロセス(重合・反応・蒸留・脱水・乾燥・凍結乾燥・濃縮など)
・シリコン単結晶引上装置
・真空洗浄装置