FUDF-716G-6.35
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FUDF-716G-6.35
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FUDF-916G-6.35
メタルダイヤフラムバルブは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライ ン向けのディスクストップバルブです。 メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト性を達成したバルブです。 高圧ガス大臣認定品としても対応が可能です。
・開閉位置表示付きハンドルです。過剰締付防止機構付きです。
・メタルダイヤフラムシールにより、外部リークがありません。
・ディスク材質として、標準でPCTFEを採用していますが、Piもオプション設定しています。
・接続タイプが豊富に揃っています。
・オプションでIPS処理も可能です。
■高圧ガス大臣認定品
特殊高圧ガス等の毒性ガスのラインでは、高圧ガス大臣認定品をご使用頂くとより安全です。
また、バルブの継手部についても同様に認定が可能です。
お客様の仕様に応じた対応が可能です。
共通仕様
| 最高使用圧力 | 16.2MPa |
|---|---|
| 使用流体温度範囲 | -10～+80℃ |
| MAX cV値 | 0.3 |
| ボディ | 材質 SUS316L |
| ダイヤフラム | 材質 NCF718 |
| ディスク | 材質 SUS316 |
| ディスクパッキン | 材質 PCTFE |
| スプリング | 材質 SUS316WPB |
