マスフロー・フローコントロールシステム 製品一覧
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アズビル
マスフローメータ 形 CMS□□□□(SUSモデル)
・マスフローメータCMS□□□□は、検出部にアズビル独自開発の熱式流速センサである「μF(マイクロフロー)センサ」を使用した、質量流量計です。
・マイクロマシニング技術を駆使して製作される超微細な流速センサと高度な流路設計技術の融合により、従来にない高精度、広い計測範囲を低価格で実現しました。
・使いやすさと高い信頼性を兼ね備えたこれからの流量計です。
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アズビル
デジタルマスフローコントローラ 形 MQV□□□□(標準ガス・小流量モデル)
・マスフローコントローラMQV□□□□は、検出部にアズビル独自開発の熱式流速センサである「μF(マイクロフロー)センサ」を使用し、比例ソレノイドバルブと高度なアクチュエータ技術を融合した高性能デジタルマスフローコントローラです。
・高速・ワイドレンジ流量制御ニーズを先取りした一般産業市場向け次世代気体流量コントローラです。
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アズビル
デジタルマスフローコントローラ 形 F4Q
高速応答・低圧損・高精度なデジタルマスフローコントローラが正統進化
・ひとめで制御状態が分かる大型LEDと液晶表示器を搭載。
・高流量域から低流量域まで高精度で制御できます。
広い範囲で設定流量を変更する用途に適しています。
・「全閉から制御開始時」「設定値変更時」とも同様に高速応答を実現しています。複数のガス流量を同時に変更する場合もガスの比率を維持できます。
・低圧ガスも制御できる低差圧構造。
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フジキン
FCS フローコントロールシステム(ガス用)|UPC・FCSPシリーズ
・半導体プロセスにおいて、重要視されているエッチレートや成膜レートの、安定性・再現性の確立を念頭に開発されました。
・従来のマスフローコントローラとは、その基本動作原理から異なり、圧力を制御することによりMFCでは実現できない、高精度な流量制御を可能にします。
・ガス供給系での、圧力変動(ハンチング)やクロストークなど、プロセスの不安定要素を克服し、限りなく安定した流量制御をお客様に提供致します。
■オートプレッシャーコントローラ(自動圧力制御器) UPCシリーズ
・動作原理内蔵した圧力センサーで圧力を一定に保ちます。
・電気信号で任意の圧力が設定可能です。
・1つのラインにマスフロが複数接続されている場合、ガス流量の急激な変動が他のマスフロに影響を与えないように圧力調整を行います。
・ウエハ裏面冷却用の制御器として対応可能。
・下流圧力制御用。
■フローコントロールシステム FCSP8000・FCSP7000/Wシリーズ
・供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けません。
・応答時間が0.5秒以下と早い。
・取り付け姿勢の影響を受けません。
・流量自己診断機能の搭載。
・ガス種を選びません。フローファクター(流量変換係数)の採用により、N2校正のFCSで様々なガス種に対応できます。
・RoHS対応。