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ハーモニック・ドライブ・システムズ
高精度ダイレクトドライブ・モータ KDUシリーズ
・分解能:11,840,000分割/回転(0.01arc-sec/pulse)のダイレクトドライブ・モータ。 高精度 ・絶対位置決め精度:10arc sec ・繰り返し位置決め精度:±0.5arc sec 停止安定性 ・サーボロック時の停止安定性:±2パルス(±0.22arc sec)以内 大きい中空径 ・モータ外径:φ130mm ・中空穴径:φ50mm 機械的精度 ・出力側面振れ:2μm
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