FPR-ND-71-6.35
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FPR-ND-71-6.35
NEW MEGA-ONE LA は、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。
■特徴
・アクチュエータ部の簡略化により、コンパクト化をはかりました。
・優れた耐久性400万回以上(φ6.35)
・ノーマルオープン、ノーマルクローズの区別ができるようキャップ上部で、簡単に識別できます。
・良好な置換特性(UJR 6.35 MALE TYPEで全内容積 1.48 cc)
・高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム
・接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。
オプションでUP処理も可能です。
・シート材質は、標準でPCTFEを採用していますがPI・PAもオプション設定しています。
共通仕様
最高使用圧力 | 1MPa |
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使用流体温度範囲 | -10~+80℃ |
Cv値 | 呼び径6.35=0.3 呼び径9.52・12.7=0.65 |
作動圧力 | 0.4~0.6MPa |
操作圧接続ポート | M5×0.8 |
接続継手 | UJR、UPG@F900自動溶接継手 |
ボディ材質 | SUS316L |
ダイヤフラム(接ガス部)材質 | ニッケルーコバルト合金 |
シート材質 | PCTFE(標準) |
アクチュエータキャップ材質 | アルミ合金(アルマイト処理) |