井口機工製作所
位置決めステージ ILS型(クリーンルーム用)
■各工程におけるバッファー部で、ガラス基板搬送用カセットを、シンプルに位置決めするステージユニットです。
・G7、G8 級に対応した大型タイプや、従来規模の製造ライン改善用に対応した小型タイプなど、世界的な採用が拡大しています。
■滑るように全方向に移動できるILS ステージユニットは、イグチベアーを採用した従来機に比べ、コンパクトにもかかわらず大荷重を受けることができ、非常にスムースな動きでカセットを位置決めできす。
■位置決め完了後、AGVによりカセット受け渡し後の無負荷状態には、可動部が常に原点に復帰し、次のカセットを待ちます。
■可動部をホールドさせることができるSタイプ（ストッパータイプ）もご用意しております。
