FP-UBF-916-6.35
-
FP-UBF-916-6.35
■ステンレス鋼製 16.2MPa
空気圧シリンダー式ベローズバルブは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのディスクストップバルブです。
金属製ベローズの採用により高気密性、高耐久性、コンパクト、高洗浄性、パージ特性を達成し,また高圧ガス大臣認定品としても対応が可能です。No.1のベローズバルブです。
・ノーマルオープン、ノーマルクローズの区別が出来るようキャップ表示が色分けされており、簡単に識別出来ます。
・アクチュエータは独自の回転機構となっておりNO、NCとも任意の位置より作動圧を供給できます。
・洗浄パージ効果の優れたベローズ形状です。
・メタルガスケットシールにより、外部リークがありません。
・ディスク材質として、標準でPCTFEを採用していますがHT・PI・PAもオプション設定しています。
共通仕様
最高使用圧力 | 16.2MPa |
---|---|
使用流体温度範囲 | -10~+80℃ |
作動圧力 | 0.39~0.59MPa |
操作圧接続ポート | Rc1/8 |
接続継手 | F900/UJR/自動溶接用継手 |
空圧シリンダー作動方式 | ノーマルクローズ(NC)/ノーマルオープン(NO) |
ボディ材質 | SUS316L |
ベローズ材質 | インコネル718 |
ディスクパッキン材質 | PCTFE |
ガスケット材質 | NW2201(ニッケル) |
アクチュエータ材質 | A5056 |