左右ねじアクチュエータ
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左右ねじアクチュエータ
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左右ねじアクチュエータ
■1台のアクチュエータで開閉把持を実現
・1本のボールねじと直動案内機器をコンパクトにまとめた単軸ユニットで、 左ねじと右ねじのボールねじを一体化し1台で開閉把持を実現します。
・U字形状のガイドレールの中にスライドブロックを配置することで、 低断面構造とコンパクトな形状を実現し、 従来のテーブル機構に比べ大幅なスペースの削減が可能です。
・高精度・高剛性に優れ、 特に精密位置決め用途として最適です。
■生産コストと設計工数、組立工数の削減、装置の省スペース化に貢献
・SE/SGの左右ねじアクチュエータによって、装置全体のスペースを削減することが可能です。
・アクチュエータの一体構造により、ボールねじを左右1本ずつ用意する必要はなく、左ねじの納期やコストの心配もありません。
・部品の組立工数の削減はもちろん、ボールねじが1本化されることにより、軸芯アライメントや同期運転の調整も不要です。
・モータやアンプなどの部品点数の削減も可能です。
■手動ハンドルを標準装備
・装置組立て時にスライドブロックの位置や動作確認など手動ハンドルによって、ねじ軸を容易に回転させることが可能です。
■クロダSグリースを標準塗布
・優れた潤滑特性と安定したトルク特性により、小ストロークの運転にも最適なグリースです。
・半導体製造装置に要求される低発塵性も兼ね備えています。