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■クリーンルーム内で使用可能なエキゾーストクリーナ
・排気エア清浄度:ISO Class5(クラス100 Fed.Std.209D)相当(使用条件により異なります)
■0.3μm以上の粒子が3.5個/L以下
・空気圧機器の排気エアをクリーンルーム内で直接排気することが可能なため、排気ダクトへの配管が不要です。
■安心の2段エレメント構造
・第1エレメント油飽和後、2次側に流出する油を第2エレメントで捕集。
・外部への再飛散を一定期間防止します。