フロースイッチ 製品一覧

日本精器

回路補器（スイッチ）｜フロースイッチ BN-1321/1321L/1311/1311-40

■ダイヤフロム式の誤動作が少ないフロースイッチです。

■BN-1321Lは低流量タイプです。

SMC

フロースイッチ｜水用デジタルフロースイッチ PF2Wシリーズ

・デジタル表示の流量設定、検出が可能。
・スイッチ出力、積算パルス出力、アナログ出力に対応。
・瞬時流量と積算流量の切替が可能。
・2点の独立した終了設定が可能。
・保護構造IP65。
・分離型もあります。詳細はお問い合せください。

SMC

フロースイッチ｜3色表示 水用デジタルフロースイッチ PF3Wシリーズ

・従来製品比40%の小型化。
・配管スペース削減。
・温度センサ：表示可能範囲-10～110℃（温度センサ単体）、設定最小単位1℃、アナログ出力：電流出力／電圧出力
・流量調整弁：配管工数、スペース削減
・使用流体温度：0～90℃
・エチレングリコール水溶液対応可能。
・表示部回転可能。設置条件に応じて表示部を45°刻みで回転できます。操作性、視認性向上。反時計回り90°、時計回り225°。
・ノングリース仕様。
・測定流量250L/minの追加。
・3色表示デジタルフローモニタ最大10台まで同時コピー可能。
・インジケータ機能：センサの状態をインジケータランプにより目視確認可能。
・配線工数削減：コネクタ接続。

SMC

フロースイッチ｜3色表示 水用デジタルフローモニタ PF3W3シリーズ

SMC

フロースイッチ｜純水・薬液用 デジタルフロースイッチ PF2Dシリーズ（分離型／センサ部）

・発塵量 3個／cc以下。カルマン渦式のため可動部がなく低発塵。
・置換特性。テーパ面どうしを突き当てることにより、シールを確実にし液だまりを防止。

SMC

フロースイッチ｜純水・薬液用 デジタルフロースイッチ PF2Dシリーズ（分離型／モニタ部）

SMC

フロースイッチ｜純水・薬液用 デジタルフロースイッチ PF2Dシリーズ（4チャンネルフローモニタ 分離型／モニタ部）

SMC

フロースイッチ｜2色表示式デジタルフロースイッチ PFMBシリーズ

・流量レンジ拡大。1台で幅広い流量範囲の計測が可能。
・レンジアビリティ100倍。
・最少設定単位1L/min。
・小形&省スペース。従来比約1/3(200Lタイプの場合)。
・流量調整弁を一体化(200Lタイプ)。配管工数削減、省スペース設置が可能。専用設計のためニードル回転数に応じた滑らかな調整が可能。
・応答速度50msec(0.05sec)/0.1sec/0.5sec/1.0sec/2.0secより選択可能。用途に応じた応答速度の設定が可能です。
・ノングリース。
・表示部反転：上下反転させても表示は逆さまにはなりません。

SMC

フロースイッチ｜3色表示 電磁式デジタルフロースイッチ LFE Series

・コンパクト、軽量
・使用流体温度：0～85℃
・適用流体：水、水溶性クーラント
・逆流検知が可能
・繰返し精度：±1.5%F.S.(アナログ出力)
・絶縁型を追加：プラス接地、マイナス接地使用可能

フジキン

FCS フローコントロールシステム UPC・FCSPシリーズ

・半導体プロセスにおいて、重要視されているエッチレートや成膜レートの、安定性・再現性の確立を念頭に開発されました。
・従来のマスフローコントローラとは、その基本動作原理から異なり、圧力を制御することによりMFCでは実現できない、高精度な流量制御を可能にします。
・ガス供給系での、圧力変動（ハンチング）やクロストークなど､プロセスの不安定要素を克服し、限りなく安定した流量制御をお客様に提供致します。

■オートプレッシャーコントローラ(自動圧力制御器) UPCシリーズ
・動作原理内蔵した圧力センサーで圧力を一定に保ちます。
・電気信号で任意の圧力が設定可能です。
・1つのラインにマスフロが複数接続されている場合、ガス流量の急激な変動が他のマスフロに影響を与えないように圧力調整を行います。
・ウエハ裏面冷却用の制御器として対応可能。
・下流圧力制御用。

■フローコントロールシステム FCSP8000・FCSP7000/Wシリーズ
・供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けません。
・応答時間が0.5秒以下と早い。
・取り付け姿勢の影響を受けません。
・流量自己診断機能の搭載。
・ガス種を選びません。フローファクター(流量変換係数)の採用により、N2校正のFCSで様々なガス種に対応できます。
・RoHS対応。