ダイヤフラムバルブ 製品一覧

フジキン

ダイヤフラムバルブ｜メタルダイヤフラムバルブ （ステンレス鋼製・16.2MPa） FUDF-□16G

■メタルダイヤフラムバルブ
・メタルダイヤフラムバルブは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのディスクストップバルブです。
・メタルダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト性を達成したバルブです。
・高圧ガス大臣認定品としても対応が可能です。

■ステンレス鋼製・16.2MPa

■開閉状態が一目で確認出来ます。

■開閉位置表示付きハンドルです。

■過剰締付防止機構付きです。

■メタルダイヤフラムシールにより、外部リークがありません。

■接続タイプが豊富に揃っています。

■ディスク材質として、標準でPCTFEを採用しています。
・PIもオプション設定しています。

■オプションでUP処理も可能です。

フジキン

ダイヤフラムバルブ｜低圧マニュアルオペレーションバルブ（NEW MEGA-ONE LS） FUNDL-□1G

■NEW MEGA-ONE LS
・新タイプ・低圧マニュアルオペレーションバルブ（スイッチタイプ）
・NEW MEGA-ONE LSは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの90度開閉ダイヤフラムバルブです。
・スプリングの力により安定したシール性能が維持できます。
・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。
・新ハンドルの採用によりヒューマンインターフェースを向上させたバルブです。

■開閉表示付きハンドルは非常に視認性に優れています。

■非常に操作しやすいハンドル形状です。

■優れた耐久性：2万回以上

■バルブの開閉状態が一目で確認できます。
・正確な開閉状態を示す表示機構
・流れ方向を示す誤操作防止機構

■パネルマウント対応

■良好な置換特性（UJR 6.35 MALE TYPEで全内容積 1.48 cc）

■高耐久性ニッケル-コバルト合金製ダイヤフラム

■オプションでハンドル色の変更も可能です。

■シート材質は、標準でPCTFEを採用しています
・PI・PAもオプション設定しています。

■接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。
・オプションでUP処理も可能です。

フジキン

ダイヤフラムバルブ｜低圧マニュアルオペレーションバルブ（NEW MEGA-ONE LM） FUND-□1G

■NEW MEGA-ONE LM
・新タイプ・低圧マニュアルオペレーションバルブ
・NEW MEGA-ONE LMは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのマニュアルオペレ−ションダイヤフラムバルブです。
・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。
・従来のMEGA-ONE LMの性能はそのままに、コンパクト化を図りました。

■シンプル＆コンパクト
・パネルマウント用のナットを省略、シンプル＆コンパクト

■バルブの開閉状態が一目で確認できる開閉表示付きです。

■良好な置換特性（UJR MALE TYPEで全内容積 1.48 cc）

■シート材質は、 標準でPCTFEを採用しています。
・PI・PAもオプション設定しています。

■接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。
・オプションでUP処理も可能です。

フジキン

ダイヤフラムバルブ｜高圧コンパクトマニュアルバルブ（NEW MEGA-MINI HM） FUNSD-□21G

■NEW MEGA-MINI HM
・新タイプ・高圧コンパクトマニュアルバルブ
・NEW MEGA-MINI HMは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのマニュアルオペレーションダイヤフラムバルブです。
・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。

■優れた耐久性2万回以上

■高圧ガス大臣認定品の対応が可能です。

■バルブの開閉状態が一目で確認できます。

■高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム

■良好な置換特性（UJR MALE TYPEで全内容積 0.92 cc）

■シート材質は、標準でPCTFEを採用しています。
・PIもオプション設定しています。

■接ガス部はすべて標準でUP処理を行っています。

フジキン

ダイヤフラムバルブ｜低圧タイプマニュアルオペレーションバルブ（MEGA-ONE LM） FUDDF-□1G

■MEGA-ONE LM
・低圧タイプ・マニュアルオペレーションバルブ
・MEGA-ONE LMは、各種半導体装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのマニュアルオペレ−ションダイヤフラムバルブです。
・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト性、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。

■バルブの開閉状態が一目で確認できる開閉表示つきです。

■高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム

■良好な置換特性（UJR MALE TYPEで全内容積 1.48cc）

■オプションでハンドル色の変更も可能です.

■シート材質として、標準でPCTFEを採用しています。
・PI・PAもオプション設定されています。

■接ガス部はすべて標準でEP処理されています。
・オプションでUP処理も可能です。

フジキン

ダイヤフラムバルブ｜高圧タイプマニュアルオペレーションバルブ（MEGA-ONE HQ） FUDDFL-□16G

■MEGA-ONE HQ
・MEGA-ONE HQは各種半導体装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの90°開閉ダイヤフラムバルブです。
・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト性、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。

■高圧ガス大臣認定品としても対応可能です。

■バルブの開閉状態が一目で確認できます。

■高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム

■良好な置換特性（UJR MALE TYPEで全内容積 1.39cc）

■シート材質として、標準でPCTFEを採用しています。
・PIもオプション設定されています。

■接ガス部はすべて標準でEP処理されています。
・オプションでUP処理も可能です。

フジキン

ダイヤフラムバルブ｜高圧タイプマニュアルオペレーションバルブ（MEGA-ONE HM） FUDDF-□16G

■MEGA-ONE HM
・高圧タイプ　マニュアルオペレーションバルブ
・MEGA-ONE HMは各種半導体装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのマニュアルオペレーションダイヤフラムバルブです。
・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト性、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。

■高圧ガス大臣認定品としても対応可能です。

■バルブの開閉状態が一目で確認できます。

■高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム

■良好な置換特性（UJR MALE TYPEで全内容積 1.39cc）

■シート材質として、標準でPCTFEを採用しています。
・PIもオプション設定されています。

■接ガス部はすべて標準でEP処理されています。
・オプションでUP処理も可能です。

フジキン

自動ダイヤフラムバルブ｜低圧エアオペレーションバルブ（NEW MEGA-ONE LA） FP(R)-ND-□1

■NEW MEGA-ONE LA
・新タイプ・低圧エアオペレーションバルブ
・NEW MEGA-ONE LA は、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。
・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。
・従来のMEGA-ONE LAの性能はそのままに、コンパクト化をはかりました。

■アクチュエータ部の簡略化により、コンパクト化をはかりました。

■優れた耐久性400万回以上（φ6.35）

■ノーマルオープン、ノーマルクローズの区別ができるようキャップ上部で、簡単に識別できます。

■良好な置換特性（UJR 6.35 MALE TYPEで全内容積 1.48 cc）

■高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム

■シート材質は、標準でPCTFEを採用しています。
・PI・PAもオプション設定しています。

■接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。
・オプションでUP処理も可能です。

フジキン

自動ダイヤフラムバルブ｜低圧コンパクトエアオペレーションバルブ（NEW MEGA-MINI LA） FP(R)-NSD-□1

■NEW MEGA-MINI LA
・新タイプ・低圧コンパクトエアオペレーションバルブ
・NEW MEGA-MINI LAは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。
・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。
・従来のMEGA-MINI LAの性能はそのままに、コンパクト化を図りました。

■アクチュエータ部の簡略化により、コンパクト化をはかりました。
・φ35の小型アクチュエータの採用によりコンパクトです。

■優れた耐久性400万回以上

■ノーマルオープン、ノーマルクローズの区別ができるようアクチュエータキャップ上部で、簡単に識別できます。

■高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム

■良好な置換特性（UJR 6.35 MALE TYPEで全内容積 0.84 cc）

■シート材質は、標準でPCTFEを採用しています。
・PI・PAもオプション設定しています。

■接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。
・オプションでUP処理も可能です。

フジキン

自動ダイヤフラムバルブ｜高圧コンパクトエアオペレーションバルブ（NEW MEGA-MINI HA） FP(R)-NSD-□21

■NEW MEGA-MINI HA
・新タイプ・高圧コンパクトエアオペレーションバルブ
・NEW MEGA-MINI HAは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。
・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。
・従来のMEGA-MINI HAの性能はそのままに、コンパクト化をはかりました。

■アクチュエータ部の簡略化により、コンパクト化をはかりました。
・特殊構造のアクチュエータにより、高圧タイプのエアオペレーションバルブとして、大変コンパクトです。

■優れた耐久性40万回以上

■高圧ガス大臣認定品の対応が可能です。

■高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム

■良好な置換特性（UJR MALE TYPEで全内容積 0.92 cc）

■シート材質は、標準でPCTFEを採用しています。
・PIもオプション設定しています。

■接ガス部はすべて標準でUP処理を行っています。

フジキン

自動ダイヤフラムバルブ｜低圧タイプエアオペレーションバルブ（MEGA-ONE LA） FP(R)-UDDF-□1

■MEGA-ONE LA
・MEGA-ONE LAは、各種半導体装置・設備などの超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。
・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト性、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。

■ノーマルオープン、ノーマルクローズの区別が出来るようキャップ表示が色分けされており、簡単に識別できます。

■アクチュエータは独自の回転機構となっておりN.O.、N.C.とも任意の位置より作動圧を供給できます。

■高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム

■良好な置換特性（UJR MALE TYPEで全内容積 1.48cc）

■シート材質として、標準でPCTFEを採用しています。
・PI・PAもオプション設定されています。

■接ガス部はすべて標準でEP処理されています。
・オプションでUP処理も可能です。

フジキン

自動ダイヤフラムバルブ｜低圧タイプ・高耐久エアオペレーションバルブ（MEGA-ONE LA NHD） FPR-NHD-□1

■MEGA-ONE LA NHD
・低圧タイプ　高耐久エアオペレーションバルブ
・MEGA-ONE LA NHD は、各種半導体製造装置・設備などの超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。
・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。
・長年の経験によって蓄積された技術を使い、より高耐久性、高応答性を図りました。

■高耐久バルブ
・高耐久性能を実現。
・長年の経験によって蓄積された技術を駆使し、製品の高寿命化を実現しました。
・3000万回以上。

■高Cv値
・構造の見直しにより、従来と同サイズで高Cv値化を実現。

■安定した品質
・バルブ全数につき、リフト調整及びCv値測定検査を実施。

■MEGA-ONE・NEW MEGA-ONEと面間を統一(φ6.35はUJR継手のみ）
・既存ラインのグレードアップが可能。

■高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム

■接ガス部はすべて標準でEP処理されています。
・オプションでUP処理も可能です。

■シート材質は、標準でPCTFEを採用しています
・PA（PFA材）・PI（ポリイミド材）もオプション設定しています。

■高温(使用流体温度）にも対応
・シート材質をPA・PIにする事で200℃に対応。

フジキン

自動ダイヤフラムバルブ｜可変式2段切換バルブ FPR-ND-□1SS・FPR-NSD-□1SS

■可変式2段切換バルブ
・可変式2段切換バルブは、最先端の半導体プロセスチャンバー内等への、急激な流体によるパーティクルの舞い上がりを防ぐことを目的として開発しました。
・小流量と大流量を切換えることにより、チャンバー内圧力の上昇をスムーズにすることが可能です。
・従来の2段切換バルブでは困難であった実使用ラインでの調整対応が可能です。

■小流量の開度調整ができるようになりました。

■小流量設定可能Cv値範囲
・呼び径 6.35：0～MAX. Cv値
・呼び径 9.52：0～0.25

■コンパクト

■ 高耐久(高寿命)

■小流量固定ナット
・ロック機構により小流量が任意値に設定可能。

■小流量調整ねじ
・特殊機構の採用により微小コントロールを可能にします。

■アクチュエータ
・ピストン構造により正確な流量切換えが可能。

■バルブ構造
・ダイレクトダイヤフラム構造を採用。

フジキン

自動ダイヤフラムバルブ｜高温バルブ・オールメタルエアオペレーションバルブ（MEGA-M LA） FWB(R)-71

■MEGA-M LA
・オールメタル　エアオペレーションバルブ

■高温バルブ
・MEGA-M LA は、高温下300℃（条件によります）まで対応可能なオールメタルバルブです。
・専用のヒーターと組み合わせる事で、高温プロセスや排気系での堆積物付着防止に大きく貢献致します。

■標準接続は1/8" ファインロック

■300℃対応可能
・アクチュエータはオールメタルであり環境温度300℃で使用可能。

■300℃時で耐久性20万回以上
・オプションで耐久性100万回も対応可能（Cv値0.1）

■良好な置換特性（UJR MALE TYPEで全内容積 1.38cc）

■メタルシートの採用により接ガス部はすべてメタルとなりました。

■接ガス部は全て標準でUP処理されています。

フジキン

ダイヤフラムバルブ｜ウエアダイヤフラムバルブ BNWシリーズ

■基本的構造の概要
・接液部にポケットが少なく、流線形であるため、流路抵抗が小さくプロセス流体や、洗浄液が残りにくい構造であるので、清潔・無菌（サニタリー／アセプティック）に適したバルブです。
・外部シールと内部シールが一体化した構造です。
・配管に取付けた状態で、操作部とダイヤフラムを容易に分解、組立ができます。

■独自のシール構造により、従来のダイヤフラムバルブと比較して外部リークに対する信頼性が向上しました。
・蒸気滅菌後でも安定した性能を持続します。
・微少リークを検知するヘリウムリーク検査で外部シール性能を確認しています。
・ガイドを設けて組立性を向上しています。

■送液システム用の高圧（1MPa）タイプ、プロセス用のコンパクトな低圧（0.6MPa）タイプ、オートクレーブ可能なステンレスタイプがあります。

■蒸気滅菌や開閉頻度が増加しても流量が安定しています。

■接液部に油分や水分が無い状態で組立しています。

■ダイヤフラムは、ＦＤＡ、ＵＳＰに適合しています。（ＦＤＡ CFR 177.1550, CFR 177.2600、ＵＳＰ ＣＬＡＳＳ ＶＩ）

フジキン

ダイヤフラムバルブ｜ウエアダイヤフラムバルブ BSWシリーズ

■ドレンフリーを実現するバルブ

■流路形状
・流路は、ストレートです。
・流量は、配管Cv値の80％以上となります。

■自由な配管姿 ±50°
・セルフドレン配管：規定角度なし
・水平、垂直配管で、配管内の液溜りを最小にすることができます。
・バルブを傾ける必要がないので、配管設計及び施工が簡単におこなえます。

■T型分岐弁構造
・流路は、ストレートです。
・分岐部の圧力損失が小さくなります。

■シール構造
・バックアップゴムを薄いフッ素ゴム製としたため、高温耐久性が良く、緩みにくくなっています。
・ダイヤフラムに2重のタッチライン（突起部）を設けています。
・外側のラインは、ボディ、アクチュエータとのガイドの役割をし、内側のラインは、流体を閉止する役割をしています。
・この構造により抜群の気密性と耐久性を保持しています。

フジキン

ダイヤフラムバルブ｜ウエアダイヤフラムバルブ LPSシリーズ

■流路はストレート、イージーメンテナンスバルブ

■流路はストレート
・流路抵抗が小さく、プロセス流体や洗浄液が残りにくい構造です。

■軸封用のグランドが無い
・ボールバルブ、バタフライバルブ等のグランドを有するバルブと比べて漏れに対して信頼性が有ります。
・ダイヤフラムシール
・滞留部　無し
・分解作業性　良い

■ボディを配管したままで、分解・組立できます
・ボディ、ダイヤフラム、アクチュエータの３部品構成です。
・分解洗浄が簡単におこなえます。
・手動から自動アクチュエータへの交換も簡単におこなえます。
・ヒューマンエラー防止機構（各パーツに位置決めガイド付き）

■ボディ内面仕上げにバフ研磨を使用していません。
・電解研磨のみ

■ステンレス製特殊加工により軽量化
・フジキンアルミ製アクチュエータのダイヤフラムバルブ同等の質量です。

イハラサイエンス

バルブ｜超軽量・コンパクトタイプ ダイヤフラムバルブ内蔵型管継手(1MPa) DVF series KAIHEI-KUN

KAIHEI-KUN(開閉くん)シリーズは、従来のメタルダイヤフラムバルブに代わる軽量・コンパクトでコストパフォーマンスに優れたメタルダイヤフラムバルブ内蔵型管継手です。バルブとしての機能は従来のメタルダイヤフラムバルブDVEシリーズと同等のまま、継手をキーとした新しいコンセプトにより圧倒的な軽量化を実現しました。
・ステンレスダイヤフラムを搭載し、高気密性・高耐久性を実現。
・約90度回転でバルブの開閉可能(標準：丸形ハンドル)。
・接液部品精密洗浄による禁油処理。
・クリーンルームにおける組立・包装。