ディスクストップバルブ・ベローズバルブ 製品一覧

フジキン

ディスクストップバルブ｜外ネジ式パネルマウント形ディスクストップバルブ（ステンレス鋼製・24.8MPa）UD-11500・UD-51500

■「クリーンなカップル」の機能を持ったバルブ
・接液部が禁油状態ですので、バルブ内部を通過する流体は、クリーンな状態を維持できます。
・ステム・ディスク分離型となっていますので、ソフトタッチ／メタルタッチの変換はディスクを交換するだけで、ふたつ（カップル）の用途に使い分けができます。

■高圧ガス大臣認定品も対応可能です。

■試験流体は窒素ガスまたはヘリウムガスで行っております。

■禁油に関しては、接液部禁油処理（一級禁油）をいたしております。
・ステムねじ部、Oリングのみに酸素禁油用グリス類を塗布いたします。

■ボンネットレス形のためバルブ全体がコンパクトです。

■流体温度は-50℃迄は使用できますが、断熱材等でグランド部を過冷しないよう（グランド部よりリークする可能性があります）、ご配慮願います。

■ハンドルは、水抜き穴があり、操作性の良い形状となっております。

フジキン

ベローズバルブ｜スイッチベローズバルブ（90度開閉スイッチ式・ステンレス鋼製・1MPa） FUBFL-□1

■スイッチベローズ （90度開閉スイッチ式）
・スイッチベロウズバルブ（90度開閉スイッチ式）は、各種半導体装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのディスクストップバルブです。
・金属製ベローズの採用により高気密性、高耐久性、コンパクト、高洗浄性、パージ特性を達成した業界No.1のベローズバルブです。

■ステンレス鋼製・1MPa

■開閉状態が一目で確認出来ます。

■90度回転のワンタッチ操作で全開・全閉が出来ます。

■スプリングにより閉止トルクが一定しているため、完全なシールとシート寿命が向上します。

■洗浄・パージ効果の優れたベローズ形状です。

■メタルガスケットシールにより、外部リークがありません。

■接続タイプが豊富に揃っています。

■ディスク材質として、標準でPCTFEを採用しています。
・HT・PI・PAもオプション設定しています。

■オプションでUP処理も可能です。

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ベローズバルブ｜ベローズバルブ （丸ハンドル・ステンレス鋼製・1MPa） FUB-□1

■ベローズバルブ （丸ハンドル）
・ベローズバルブは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのディスクストップバルブです。
・金属製ベローズの採用により高気密性、高耐久性、コンパクト、高洗浄性、パージ特性を達成した業界No.1のベローズバルブです。

■ステンレス鋼製・1MPa

■洗浄・パージ効果の優れたベローズ形状です。

■メタルガスケットシールにより、外部リークがありません。

■接続タイプが豊富に揃っています。

■ディスク材質として、標準でPCTFEを採用しています。
・PI・PAもオプション設定しています。

■オプションでUP処理も可能です。

フジキン

ベローズバルブ｜ニードルベローズバルブ （ステンレス鋼製・0.98MPa） FUBFN-□1

■ニードルベローズバルブ
・ニードルベローズバルブは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの流量調整用バルブです。
・金属製ベローズの採用により高気密性、高耐久性、コンパクト、高洗浄性、パージ特性を達成した業界No.1のベローズバルブです。

■ステンレス鋼製・0.98MPa

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自動ベローズバルブ｜空気圧シリンダー式ベローズバルブ FP(R)-□1

■空気圧シリンダー式ベローズバルブ
・空気圧シリンダー式ベローズバルブは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのディスクストップバルブです。
・金属製ベローズの採用により高気密性、高耐久性、コンパクト、高洗浄性、パージ特性を達成した業界実績No.1のベローズバルブです。

■ステンレス鋼製・1MPa

■ノーマルオープン、ノーマルクローズの区別が出来るようキャップ表示が色分けされており、簡単に識別出来ます。

■アクチュエータは独自の回転機構となっておりN.O.、N.C.とも任意の位置より作動圧を供給できます。

■洗浄・パージ効果の優れたベローズ形状です。

■メタルガスケットシールにより、外部リークがありません。

■接続タイプが豊富に揃っています。

■ディスク材質として、標準でPCTFEを採用しています。
・HT・PI・PAもオプション設定しています。

■オプションでUP処理も可能です。

フジキン

自動ベローズバルブ｜空気圧シリンダー式高圧ベローズバルブ FP(R)-UBF-□16

■空気圧シリンダー式高圧ベローズバルブ
・空気圧シリンダー式高圧ベローズバルブは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのディスクストップバルブです。
・金属製ベローズの採用により高気密性、高耐久性、コンパクト、高洗浄性、パージ特性を達成し、また高圧ガス大臣認定品としても対応が可能です。

■ステンレス鋼製・16.2MPa

■ノーマルオープン、ノーマルクローズの区別が出来るようキャップ表示が色分けされており、簡単に識別出来ます。

■アクチュエータは独自の回転機構となっておりN.O、N.C.とも任意の位置より作動圧を供給できます。

■洗浄・パージ効果の優れたベローズ形状です。

■メタルガスケットシールにより、外部リークがありません。

■接続タイプが豊富に揃っています。

■ディスク材質として、標準でPCTFEを採用しています。
・PIもオプション設定しています。

■オプションでUP処理も可能です。

フジキン

ベローズバルブ（V series）｜ベローズバルブ（6.89MPa） VUBF(D)-96P

■精密な成形メタルベローズによるシール構造で外部シール性能が高い。

■ボディとベローズの間をステンレス鋼製ガスケットによりシール。

■無回転のディスク構造で繰り返し確実な締め切りが可能。

■メタルシールタイプ、ソフトシールタイプの2種類を用意。

■パネル取り付けまたはボディ底部取付けが可能。

■接続形式：V-Lokタイプ。　

■外部リーク、弁座リーク
・加圧試験に加えて、ヘリウムリーク試験を実施。
・漏洩量が4.0×10 -10・33/sec以下（真空法）であることを確認しています。（検査時）

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ベローズバルブ（V series）｜コンパクトタイプベローズバルブ（6.89MPa） VUBFH-96P

■精密な成形メタルベローズによるシール構造で外部シール性能が高い。

■ボディとボンネットの間を溶接構造としており、完全な外部シール性。

■ 無回転のディスク構造で繰り返し確実な締め切りが可能。

■パネル取り付けまたはボディ底部取付けが可能。

■接続形式：V-Lokタイプ。

■外部リーク、弁座リーク
・加圧試験に加えて、ヘリウムリーク試験を実施。
・漏洩量が4.0×10 -10・33/sec以下（真空法）であることを確認しています。（検査時）

フジキン

ベローズバルブ（V series）｜マイクロメーター式ハンドル付微量流量調整用ベローズバルブ（4.82MPa） VUBFN-94MP

■マイクロメーター式ハンドル付微量流量調整用バルブ

■最高使用圧力：4.82MPa

■微量流量調節型ディスク。

■マイクロメーター式ハンドルにより、繰り返し正確な微量流量設定が可能。

■精密な成形メタルベローズによるシール構造で外部シール性能が高い。

■6回転のハンドル操作でバルブが全開。

■スロット付ハンドルトップにより、マイナスドライバーによる調節可能。

■ボディとベローズの間をステンレス鋼製ガスケットによりシール。

■パネル取り付けまたはボディ底部取付けが可能。

■接続形式：V-Lokタイプ。

■外部リーク
・加圧試験に加えて、ヘリウムリーク試験を実施。
・漏洩量が4.0×10 ^-10・3³/sec以下（真空法）であることを確認しています。（検査時）

■全閉時流量
・全閉時、0.068MPaの窒素ガスで10～15m³/min（normal）が流れるように設定をしています。（出荷時）