クリーンレギュレータ 製品一覧

SMC

圧力制御機器（レギュレータ）｜クリーンレギュレータ SRH□

■クリーンレギュレータ
・コンタミネーション管理されたステンレスレギュレータ

■優れた耐食性
・液体に接する金属は全てSUS316を使用。

■禁油
・油脂類を一切使用しない部品構成。

■2種類のダイヤフラム材質対応
・用途に応じてPTFE(Aグレード)とフッ素ゴム（Bグレード）のダイヤフラム材質が選択可能。

■滞留の少ない構造
・ダイヤフラム内部に吸・排気孔を設け、流れを発生させる構造。
・弁スプリングをダイヤフラムで隔壁する構造。

■脈動を抑制する弁構造

■クリーンルームでの一貫生産
・クラス100雰囲気内での洗浄と組立、検査密閉二重包装。

SMC

圧力制御機器（レギュレータ）｜精密クリーンレギュレータ SRP□

■高精度・低消費流量のステンレスレギュレータ

■消費流量“リッター以下”を実現
・ブリード量：0.5L/min(ANR)以下。（出口圧力：0.2MPa時）

■精密
・設定感度：0.3％F.S.
・繰返し性：1％F.S.

■優れた耐食性
・流体に接する金属は全てSUS316を使用。

■禁油
・油脂類を一切使用しない部品構。
・接流体部品は全て脱脂洗浄。

■クリーンルームでの一貫生産
・クラス10000雰囲気内での洗浄と組立、検査、密閉二重包装。

SMC

圧力制御機器（レギュレータ）｜クリーンレギュレータ（フッ素樹脂タイプ） SRF□

■接液部材質
・ボディ：New PFA
・ダイヤフラム：PTFE

■推奨最大流量
・SRF10：2L/min
・SRF30：5L/min
・SRF50：20L/min
（入口圧力：0.3MPa、流体：水）

■3タイプを用意
・SRF□0-S：継手一体タイプ
・SRF□0S-□S：ナット付タイプ
・SRF□0-T：チューブ出しタイプ