日本トムソン

アライメントテーブル AT

・精密アライメントテーブルATは、高剛性な鋼製テーブルとベッドを使用し、テーブルを支える軸受にクロスローラベアリングを組み込んだ、精密角度補正を目的とした回転位置決め機構です。
・精密アライメントテーブルATは、ボールねじの駆動による直線方向の動きを、一定角度範囲における円運動に変換し、テーブルを回転方向に位置決めします。ボールねじ駆動機構の直線案内機器にはリニアウェイLが使用され、精密ボールねじとの組合せにより、高精度な位置決めを実現しました。
・精密アライメントテーブルATは、精密位置決めテーブルのスライドテーブル上に設置し、高さ寸法の低いXY-θ多軸内決め機構を構成することにより、精密測定機器・検査機器・組立機などのアライメント用テーブルとして使用することができます。

特長
・低断面設計で高剛性
・高い繰返し位置決め精度を実現
・３つのサイズをシリーズ化

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アライメントモジュール AM

・アライメントステージモジュール形SA-Mは、角度調整機構をもったアライメントモジュールAMを同一平面上に配置した大形の精密位置決めテーブルです。
・XY方向の直線運動と、角度補正を行うことができ、特に角度補正は任意位置を回転中心に設定できるため、動作の自由度が高く、多彩な動作を実現しています。ステージとベースには大口径の中抜き構造が採用されているため、半導体・液晶関連製造装置及び検査装置などのアライメントステージに最適です。
・アライメントモジュールAMは精密位置決めテーブルTUと、高剛性形クロスローラベアリング、リニアウェイEを組み合わせて、アライメントステージ用に開発された位置決めモジュールです。
・高さ寸法の許容差を±10μmと高精度に管理しているので、各アライメントモジュールの高さ調整をすることなくアライメントステージを構成できます。

特長
・多彩な動作を実現
・大形装置に最適
・高精度・高剛性・高信頼性
・中抜き構造

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アライメントステージ SA

・アライメントステージ ダイレクトドライブ形SA-DEは、直動案内部にリニアウェイL、回転案内部にクロスローラベアリングを使用し、駆動部にダイレクトドライブ方式を採用した、低断面でコンパクトな、XYθ運動を実現するアライメントステージです。
・アライメントステージSA-DEは、高分解能リニアエンコーダと、フルクローズループ制御の組み合わせにより、バックラッシのない高精度な位置決めを実現します。
・直線移動用のX軸可動テーブルと、回転位置決め部であるθ軸ターンテーブルを標準化しているので、X軸とθ軸の組み合せや、XY軸のアライメントを簡単に構築することができます。
・半導体・液晶関連製造装置など、画像処理を利用したアライメント処理やクリーンな環境を要求される測定機器や検査装置などの位置決め機構として最適です。

特長
・薄形・コンパクト
・高分解能・高精度
・XYθの組み合わせ自由
・メンテナンスフリー

SMC

電動ロータリテーブル LERシリーズ

・薄型、省スペース。
・ショックレス、高速駆動。最大速度420°/sec(7.33rad/sec)。最大加減速度：3000°/sec²(52.36rad/sec²)。
・繰返し位置決め精度±0.05°、終端繰返し位置決め精度±0.01°(押当て制御／外部ストッパ付)。
・揺動角度320°(310°)、180°、90°、( )はLER10の値。
・速度、加／減速度、位置決め最大64点。
・省エネ。テーブル停止後、電力40％自動低減。

【バッテリレスアブソリュートエンコーダタイプ】
・電源遮断時でもエンコーダが位置情報を保持」しているため、電源再投入時の原点復帰は不要。
・バッテリ非搭載によりメンテナンス軽減
・位置情報保持にバッテリを使用しないため、予備バッテリの管理やメンテナンス交換が不要。

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回転ステージ SK-W

・高精度、高剛性でなめらかな位置決めを実現する回転ステージSK-Wが新たにラインナップ！
・SK-Wは、ウォームギア機構を採用した無限回転ステージです。IKOクロスローラーベアリングを回転案内部に採用し、直接テーブルとすることで高精度な回転振れ、高剛性、低断面を実現しています。

【高精度】
・回転案内部にIKOクロスローラベアリングを組込み、テーブル上部の擦れ量は5μm以下を実現しています。

【低断面、高剛性】
・回転案内部にあらゆる方向に対して高剛性を発揮するIKOクロスローラベアリングを採用。更にクロスローラベアリングを直接テーブルとすることで低断面を実現しています。

【設計工数削減】
・テーブルには、装置のテーブルや検査対象物等を取り付けることが可能です。機構部品を使用して一から回転テーブルの設計をする手間を削減できます。