・マスフローメータCMS□□□□は、検出部にアズビル独自開発の熱式流速センサである「μF(マイクロフロー)センサ」を使用した、質量流量計です。
・マイクロマシニング技術を駆使して製作される超微細な流速センサと高度な流路設計技術の融合により、従来にない高精度、広い計測範囲を低価格で実現しました。
・使いやすさと高い信頼性を兼ね備えたこれからの流量計です。
共通仕様
計測対象気体 | 空気/窒素,アルゴン,炭酸ガス(CO2),都市ガス13A(LNGベース,45/46MJ/m3),メタン100%,プロパン100%,ブタン100% |
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精度 | 【CMS9500・CMS0002】 流量レンジの1/5~1/1:±3%RD 流量レンジの1/100~1/5:±1%SF 【CMS0005・CMS0020・CMS0200・CMS0500】 流量レンジの1/10~1/1:±3%RD 流量レンジの1/100~1/10:±1%SF |
使用圧力範囲 | -0.07~+1.0MPa |
サンプリング周期 | 100ms±20ms |
定格電源電圧 | DC12~24V |
消費電流 | 100mA以下 |