制振リニアアクティブ除振台【倉敷化工】

リニアモーター制御タイプと空圧制御タイプの2種類が普及しているアクティブ除振台。倉敷化工が新たに開発した制振リニアアクティブ除振台は、両方の長所を追求しました。 リニアモーターで位置制御。 新しい発想により、半導体製造装置・検査装置の生産性向上をサポートします。