真空中でアウトガスを出さない『位置決めスイッチ』とは？

【高真空度クラス対応形スイッチ〔GNシリーズ〕について】 低アウトガス対応部品だけで製造した、高真空環境専用の位置決めスイッチです。 真空蒸着装置やスパッタリング装置内の、ウェハーやマスクの位置決め用途で、大手半導体製造装置メーカーに続々と採用されています。