MEMSゲージ圧センサー

半導体チップを微細加工し、機械的な変動要素を作るMEMS技術を用いて作成。ピエゾ抵抗（圧力によって抵抗値が変化する構造）を利用して圧力値を電気信号に変換。内蔵センサ制御ICによりセンサ特性を補正しデータをデジタル化。