デモンストレーション - ウエハ搬送ロボット スピンコータ

シリコンウエハにレジスト（感光性樹脂など）を均一に塗布する半導体製造工程を模したデモンストレーションです。 ・ダイレクトドライブモータ（一芯二軸）によるシンプル構造のリンクアームロボット。 ・中空シャフト内を通した真空圧でウエハを吸引し，回転させるスピンモータ。