【フジキン製品紹介】フローレシオコントローラ FRC
・フジキンのフローレシオコントローラ FRC（Flow Ratio Controller） ・導入ガスを、設定比率に基づいて正確に流量分配する機器です。 ・チャンバー内へ均一にガス供給ができ、さらには導入ガス種を問わないため、混合ガスも正確に分配が可能です。
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・フジキンのフローレシオコントローラ FRC（Flow Ratio Controller） ・導入ガスを、設定比率に基づいて正確に流量分配する機器です。 ・チャンバー内へ均一にガス供給ができ、さらには導入ガス種を問わないため、混合ガスも正確に分配が可能です。
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