【フジキン製品紹介】フローコントロールシステム　FCS-P

・フジキンのフローコントロールシステム　FCS-P(Flow Control System Pressure Series) ・圧力を制御することによって、高精度な流量制御を可能にする製品です。 ・FCS-Pは、半導体プロセスにおける、エッチレートや成膜レートの安定性・再現性の確立を念頭に開発されました。 ・従来のマスフローコントローラ（MFC）とは、その基本動作原理から異なります。 ・FCS-Pは、圧力を制御することにより、MFCでは実現できない高精度な流量制御を可能にします。 ・こちらの動画では、FCS-Pの構造や従来のMFCとの違い、また、関連製品のFFMS（Fujikin Flow Measurment System）について紹介します。