FP-91-6.35
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FP-91-6.35
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FPR-71-6.35
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FPR-91-6.35
■ステンレス鋼製 1MPa
空気圧シリンダー式ベローズバルブは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性
流体ライン向けのディスクストップバルブです。
金属製ベローズの採用により高気密性、高耐久性、コンパクト、高洗浄性、パージ特性を達成した業界実績
No.1のベローズバルブです。
・ノーマルオープン、ノーマルクローズの区別が出来るようキャップ表示が色分けされており、簡単に識別出来ます。
・アクチュエータは独自の回転機構となっておりNO、NCとも任意の位置より作動圧を供給できます。
・洗浄パージ効果の優れたベローズ形状です。
・メタルガスケットシールにより、外部リークがありません。
・ディスク材質として、標準でPCTFEを採用していますがHT・PI・PAもオプション設定しています。
共通仕様
| 最高使用圧力 | 1MPa |
|---|---|
| 使用流体温度範囲 | -10＋80℃ |
| 作動圧力 | 0.34～0.69MPa |
| 操作圧接続ポート | Rc1/8 |
| 接続継手 | F900/UJR/自動溶接用継手 |
| 空圧シリンダー作動方式 | ノーマルクローズ（NC)/ノーマルオープン（NO） |
| ボディ材質 | SUS316L |
| ベローズ材質 | SUS316L |
| ディスクパッキン材質 | PCTFE |
| ガスケット材質 | NW2201（ニッケル） |
| アクチュエータ材質 | A5056 |
