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FINE series PURE / NEW MEGA series
■NEW MEGA-ONE LM
・新タイプ・低圧マニュアルオペレーションバルブ
・NEW MEGA-ONE LMは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのマニュアルオペレ−ションダイヤフラムバルブです。
・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。
・従来のMEGA-ONE LMの性能はそのままに、コンパクト化を図りました。
■シンプル&コンパクト
・パネルマウント用のナットを省略、シンプル&コンパクト
■バルブの開閉状態が一目で確認できる開閉表示付きです。
■良好な置換特性(UJR MALE TYPEで全内容積 1.48 cc)
■シート材質は、 標準でPCTFEを採用しています。
・PI・PAもオプション設定しています。
■接ガス部はすべて標準でEP処理を行っています。
・オプションでUP処理も可能です。