ダイヤフラムバルブ｜高圧コンパクトマニュアルバルブ（NEW MEGA-MINI HM） FUNSD-□21G

FINE series PURE ／ NEW MEGA series

■NEW MEGA-MINI HM
・新タイプ・高圧コンパクトマニュアルバルブ
・NEW MEGA-MINI HMは、各種半導体製造装置・設備等の超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けのマニュアルオペレーションダイヤフラムバルブです。
・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。

■優れた耐久性2万回以上

■高圧ガス大臣認定品の対応が可能です。

■バルブの開閉状態が一目で確認できます。

■高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム

■良好な置換特性（UJR MALE TYPEで全内容積 0.92 cc）

■シート材質は、標準でPCTFEを採用しています。
・PIもオプション設定しています。

■接ガス部はすべて標準でUP処理を行っています。

#ダイヤフラムバルブ