自動ダイヤフラムバルブ｜低圧タイプエアオペレーションバルブ（MEGA-ONE LA） FP(R)-UDDF-□1

FINE series PURE ／ MEGA series

■MEGA-ONE LA
・MEGA-ONE LAは、各種半導体装置・設備などの超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。
・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト性、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。

■ノーマルオープン、ノーマルクローズの区別が出来るようキャップ表示が色分けされており、簡単に識別できます。

■アクチュエータは独自の回転機構となっておりN.O.、N.C.とも任意の位置より作動圧を供給できます。

■高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム

■良好な置換特性（UJR MALE TYPEで全内容積 1.48cc）

■シート材質として、標準でPCTFEを採用しています。
・PI・PAもオプション設定されています。

■接ガス部はすべて標準でEP処理されています。
・オプションでUP処理も可能です。

#ダイヤフラムバルブ