自動ダイヤフラムバルブ｜低圧タイプ・高耐久エアオペレーションバルブ（MEGA-ONE LA NHD） FPR-NHD-□1

FINE series PURE ／ 高耐久バルブ series 極

■MEGA-ONE LA NHD
・低圧タイプ　高耐久エアオペレーションバルブ
・MEGA-ONE LA NHD は、各種半導体製造装置・設備などの超高純度流体および可燃性、毒性流体ライン向けの気体作動ダイヤフラムバルブです。
・ダイレクトダイヤフラム構造により高気密性、高耐久性、コンパクト、パーティクルフリー、デッドスペースフリーを達成した業界スタンダードのバルブです。
・長年の経験によって蓄積された技術を使い、より高耐久性、高応答性を図りました。

■高耐久バルブ
・高耐久性能を実現。
・長年の経験によって蓄積された技術を駆使し、製品の高寿命化を実現しました。
・3000万回以上。

■高Cv値
・構造の見直しにより、従来と同サイズで高Cv値化を実現。

■安定した品質
・バルブ全数につき、リフト調整及びCv値測定検査を実施。

■MEGA-ONE・NEW MEGA-ONEと面間を統一(φ6.35はUJR継手のみ）
・既存ラインのグレードアップが可能。

■高耐久性ニッケルーコバルト合金製ダイヤフラム

■接ガス部はすべて標準でEP処理されています。
・オプションでUP処理も可能です。

■シート材質は、標準でPCTFEを採用しています
・PA（PFA材）・PI（ポリイミド材）もオプション設定しています。

■高温(使用流体温度）にも対応
・シート材質をPA・PIにする事で200℃に対応。

#ダイヤフラムバルブ