フローコントローシステム FCS-Thermal（熱式流量センサ制御方式）｜マスフローコントローラ FUS-Tシリーズ

■一般にマスフローコントローラ（MFC）と呼ばれていますFCS-Thermal （熱式流量センサ制御方式）シリーズです。

■FCS フローコントローシステム
・フジキンのFCSシリーズは、あらゆる産業でご利用いただける「ガスの流量制御機器」です。
・FCSシリーズでは、FCS-Pressure （圧力制御方式）シリーズと、FCS-Thermal （熱式流量センサ制御方式）シリーズの制御方法の異なる2種類の製品ラインアップを取り揃えております。

■マスフローコントローラ
・マスフローコントローラは質量流量（Mass Flow）制御機器です。
・従来より、流体の流量計測・制御では｢体積流量計｣が用いられてきました。しかし、体積流量は温度・圧力の影響を受けるため、より精度良く流量計測・制御を行なう必要がある場合には、温度・圧力の影響を受けにくい「質量流量計（Mass Flow）」が用いられています。
・フジキンでは、お客様のニーズに合わせた「質量流量計（Mass Flow）」を、各種FCS-Thermal シリーズの中からご提案をさせていただいております。

■動作原理
・マスフローコントローラは、外部からの設定入力信号と、熱式流量センサから得られた流量出力信号を比較制御回路に取り込み、常にそれらが一致（設定＝出力）するよう流量制御バルブを駆動させます。
・フジキンのFCS-Thermal シリーズは、アナログ制御製品に加えて、各種デジタル制御製品もラインアップしております。

■熱式流量センサ（サーマルセンサ）
・流体を流した時、熱式流量センサの上流側（A）と下流側（B）の発熱抵抗体で温度差（抵抗値の変化）が発生します。
・導入されるガス種によって、発熱抵抗体の冷却される割合が異なり、その割合が質量流量に関係する事を利用した原理を用いて質量流量を計測します。

■流量精度
・一般的なマスフロー製品の流量精度は±1 ％ F.S.（最大流量に対して±1 ％以内）となっております。
・フジキンではさらなる高精度化のご要求に対して、±1 ％ S.P.（設定値に対して±1 ％以内）を保証する高精度製品もラインアップしております。