フローコントロールシステム（圧力制御方式） FCS-Pressure ｜FCSPシリーズ

■フローコントロールシステム FCS
・FCSは、近年半導体プロセスにおいて、重要視されているエッチレートや成膜レートの、安定性・再現性の確立を念頭に開発されました。
・従来のマスフローコントローラ（以下MFC）とは、その基本動作原理から異なり、圧力を制御することによりMFCでは実現できない、高精度な流量制御を可能にします。
・ガス供給系での、圧力変動（ハンチング）やクロストークなど､プロセスの不安定要素を克服し、限りなく安定した流量制御をお客様に提供致します。
・最先端プロセスに相応しい高精度なスペックもFCSの魅力のひとつです。
・最高のパフォーマンスをお約束致します。

■供給圧力の変動に対して、制御流量は影響を受けにくい

■応答性が0.5 秒以下と早い

■マルチガス・マルチレンジ（MGMR）機能搭載

■流量自己診断機能を搭載

■取り付け姿勢の影響を受けません（マウントポジションフリー）

■FCSP8000
・レンジアビリティ 1000:1
・流量精度±1.0 ％ S.P.保証を実現！

■FCSP7300 series
・応答時間で供給圧のモニターが可能！
・応答性500 mm sec以下！
・マルチガス・マルチレンジ対応！

■FCS-P
・超小型
・幅10.2 �oを実現し、ガス系の系統数の増加に対応！
・流量精度±1.0 ％ S.P.（マルチガス・マルチレンジ）
・応答性500 mm sec以下！

#フロースイッチ