UPCシリーズ
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UPCシリーズ
■動作原理
・内蔵した圧力センサで圧力を一定に保ちます。
【アプリケーション】
■電気信号で任意の圧力が設定可能です。
■マスフロコントローラ（以下MFC）の上流に接続すると、極めて安定な流量制御が可能です。
■一つのラインにMFCが複数接続されている場合、ガス流量の急激な変動が他のMFCに影響を与えることがあります。
・この場合、UPCシリーズを使用することにより他のMFCに与える影響を防止できます。（下流圧制御タイプ）
■UPCUS（上流圧制御タイプ）は、MOｰCVDなどの液体ソースタンクの内圧を一定に保ち、気化量の安定性を向上します。
■ウエハ裏面冷却用の制御器として対応可能です。
■高温タイプ（150 ℃、220 ℃）・流量モニタ付モデルもラインアップ。
