SA-DE
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SA-DE
・アライメントステージ ダイレクトドライブ形SA-DEは、直動案内部にリニアウェイL、回転案内部にクロスローラベアリングを使用し、駆動部にダイレクトドライブ方式を採用した、低断面でコンパクトな、XYθ運動を実現するアライメントステージです。
・アライメントステージSA-DEは、高分解能リニアエンコーダと、フルクローズループ制御の組み合わせにより、バックラッシのない高精度な位置決めを実現します。
・直線移動用のX軸可動テーブルと、回転位置決め部であるθ軸ターンテーブルを標準化しているので、X軸とθ軸の組み合せや、XY軸のアライメントを簡単に構築することができます。
・半導体・液晶関連製造装置など、画像処理を利用したアライメント処理やクリーンな環境を要求される測定機器や検査装置などの位置決め機構として最適です。
特長
・薄形・コンパクト
・高分解能・高精度
・XYθの組み合わせ自由
・メンテナンスフリー
共通仕様
タイプ | SA-DE |
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