SA-DE/T
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SA-DE/T
無限回転にアブソリュートエンコーダ仕様が登場
・アライメントステージSA・・・DEは、ダイレクトドライブ方式を採用した、低断面でコンパクトなXYθ運動を実現するアライメントステージです。
・従来の回転タイプ(SA・・・DE/S)は、回転動作角に制限がありましたが、新たにラインナップした無限回転タイプ(SA・・・DE/T)は360度を超える動作角や、連続回転動作に対応します。
・無限回転タイプでは、従来のインクリメンタルエンコーダに加え、より高分解能で耐ノイズ性にも優れたアブソリュートエンコーダ仕様も取り揃えております。
■XYθ軸の組合せが自由に
・直線移動用のXテーブルである、SA・・・DE/Xと組み合わせることによって、XYθ軸方向に稼働する極めてコンパクトなアライメントステージを簡単に構築することができます。
■薄形、コンパクト
・ダイレクトドライブ方式の回転案内にはIKOクロスローラベアリングを採用。極めて低い断面高さを実現しています。
■高分解能・高応答
・高分解能エンコーダを内蔵したダイレクトドライブ方式のステージをフルクローズドループ制御することにより、高分解能と高精度を実現しています。
■アブソリュートエンコーダ仕様にも対応
・アブソリュートエンコーダ仕様の選択も可能です。
・アブソリュートエンコーダ仕様は、スケール上の絶対位置情報を読み取るため原点復帰動作が不要です。
・さらに高速シリアル通信を用いているため高速・高分解能で耐ノイズ性にも優れています。
