ボールトランスファー｜クリーンルーム用イグチベアー ISC-10

【クリーンルーム向けイグチベアーの特長】
■ガラス基板にキズをつけないデュポンベスペルをはじめ、PBI やPEEK に代表される、各種エンジニアリングプラスティックを採用。
■極限までパーティクル（発塵）の発生を抑えた、ISB独自のクリーン化テクノロジーを搭載。
■ISB 洗浄からクリーンパックまで使用環境に合わせた脱脂洗浄が可能。
■ユーザーの特殊用途に合わせた特型製品の製作が可能。

【クリーンルーム向けイグチベアーの採用メリット】
■ガラス基板位置決め時の摩擦抵抗値が従来のピン方式の約1/10に低減。
■滑り方式のピンに比べ、転がり方式のイグチベアーは長期的に安定した低摩擦抵抗で、ガラス基板のアライメントが可能。
■摩擦抵抗値の低下により、ガラス基板の割れが極端に減少。ローダー、アンローダー部や各処理工程での歩留まり改善が可能。


【ISC-10の特長】
■ISC 型の標準洗浄仕様は、クリーンパックとなっておりますが、その他の洗浄も可能となります。
■使用荷重については、御使用環境上、様々なケースがございますので、表記しておりません。ご不明な点は、お問い合わせください。
■搬送用途での使用を御検討の場合は、お問い合わせください。

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