MEMS 傾斜角度センサ
●2出力 ： X,Y 2軸
●広角度対応 ： ～±60°
●高精度 ： 狭角度～広角度
： 安定した温度特性
●検出部に機械的共振点がなく、振動の影響を受けにくい
●高機能（ユーザフレンドリー）
・レシオ出力、シリアル出力(RS485)から選択
・使用環境に合わせた応答性調整
・現場で簡単に0°の出力位置を再設定
・ユーザによるパラメータ変更可能(シリアル出力のみ・オプション)
共通仕様
| 有効傾斜角 | ・レシオ出力：±10°、±20°、±30°、±45°、±60°、 X軸・Y軸別々に選択も可能 ・シリアル出力(RS485)：±30°、±60° |
|---|---|
| 絶対直線性 | ±1%FS |
| 入力電圧 | DC5±0.25V |
| 消費電力 | ・レシオ出力：定常時：20mA ・シリアル出力(RS485)：定常時：30mA |
| アナログ出力範囲 | ・レシオ出力：10～90%Vin ・シリアル出力(RS485)：- |
| 分解能 | ・レシオ出力：12bit相当Vin ・シリアル出力(RS485)：0.006°（ノイズ含まず） |
| 応答性 | ステップ応答（時定数）：443ms（基準） 70ms～900msの間から16段階で選定可能 |
| 温度特性−30〜＋85℃基準（水平位置） | ・レシオ出力：±0.2° ・シリアル出力(RS485)：±0.2° |
| 温度特性−30〜＋85℃基準（傾斜位置） | ・レシオ出力：±10°：±0.7°、±20°：±1.2°、±30°：±2.1、±45°：±3.6°、±16°：±6.0° ・シリアル出力(RS485)：±30°：±1.6、±60°：±4.4°° |
| EMS（耐放射電磁波） | IEC61000-4-3：レベル3(10V/m) |
| EMI（放射電界強度） | IEC61000-4-6：CISPR22_A_10m |
| 静電耐圧 | IEC61000-4-2：±16kV |
| 使用温度範囲 | −30～85℃ |
| 振動 | 70m/s2 5～500Hz（10分）上下4時間、前後左右2時間 |
| 衝撃 | 1000m/s2、正弦半波6ms 3軸各3回 |
| 密閉性 | IP40 |
| 0°位置出力再設定 | 水平±5°の範囲内で、傾斜角0°位置の出力再設定が可能（オプション） |
