電気信号に比例して空気圧力を無段階に制御
最高供給圧力:5.0MPa
設定圧力範囲:0.01~3.0MPa
最大流量:3000L/min(ANR)
使用流体:空気、N2、O2、Ar
接流体部:フッ素系グリース使用
共通仕様
ボディサイズ | ITVX2000型 |
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パイロット形式 | 内蔵レギュレータタイプ |
設定圧力範囲 | 0.01~3.0MPa |
電源電圧 | DC24V |
接続口径 | 3/8 |
最低供給圧力 | 0.5MPaもしくは設定圧力+0.2MPaの高い方 |
最高供給圧力 | 5MPa |
電源 | ・電圧:DC24V±10% ・消費電流:0.12A以下 |
入力インピーダンス | ・電流形:500Ω以下 ・電圧形:6~6.5kΩ(常温時) |
リニアリティ | ±1%以下(フルスパン) |
ヒステリシス | 1%以下(フルスパン) |
繰返し性 | ±1%以下(フルスパン) |
感度 | ±1%以下(フルスパン) |
温度特性 | ±0.12%以下(フルスパン)/℃ |
出力圧力表示 | ・精度:±2%以下(フルスパン)±1dig. ・最小単位:MPa:0.01,kgf/cm2:0.1,bar:0.1,psi:1 |
使用流体 | 空気、N2、O2、Ar |
周囲温度および使用流体温度 | 0~50℃(ただし、結露なきこと) |
質量 | 約570g(オプションなし) |