フランジKF40
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フランジKF40
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フランジKF25
共通仕様
型式 | ・XLJ-25:フランジKF25 ・XLJ-40:フランジKF40 |
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弁形式 | 常時閉・真空パイロット |
軸シール方式 | Oリングシール |
使用圧力範囲 | 大気圧~1×10 -2Pa |
使用流体 | 不活性ガス |
接続方法 | 固定 |
内部リーク量 | 1.3×10-8Pa・m3/s以下 |
外部リーク量 | 1.3×10-6Pa・m3/s以下 |
使用温度 | 5~40℃ |
コンダクタンス | ・XLJ-25:12L/s ・XLJ-40:45L/s |
起動電圧 | AC100V, 200V, 110V, 230V, 220V, 240V DC12V, 24V |
リード線取出し | グロメット |
質量 | ・XLJ-25:0.95kg ・XLJ-40:1.5kg |
ON動作(ポンプ同時) | 約2sec後、バルブ開注 |
OFF動作(ポンプ同時) | バルブ即時閉 直後ポンプ側大気開放 |
規格情報 | CEマーキング |