フランジKF40
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フランジKF40
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フランジKF25
共通仕様
| 型式 | ・XLJ-25：フランジKF25 ・XLJ-40：フランジKF40 |
|---|---|
| 弁形式 | 常時閉・真空パイロット |
| 軸シール方式 | Oリングシール |
| 使用圧力範囲 | 大気圧～1×10 -2Pa |
| 使用流体 | 不活性ガス |
| 接続方法 | 固定 |
| 内部リーク量 | 1.3×10-8Pa・m3/s以下 |
| 外部リーク量 | 1.3×10-6Pa・m3/s以下 |
| 使用温度 | 5～40℃ |
| コンダクタンス | ・XLJ-25：12L/s ・XLJ-40：45L/s |
| 起動電圧 | AC100V, 200V, 110V, 230V, 220V, 240V DC12V, 24V |
| リード線取出し | グロメット |
| 質量 | ・XLJ-25：0.95kg ・XLJ-40：1.5kg |
| ON動作（ポンプ同時） | 約2sec後、バルブ開注 |
| OFF動作（ポンプ同時） | バルブ即時閉 直後ポンプ側大気開放 |
| 規格情報 | CEマーキング |
